Στοιχεία Εργασίας P0331

Κωδικός Εργασίας: P0331
Περίληψη:      

Τίτλος Εργασίας:

Εναπόθεση και χαρακτηρισμός λεπτών υμενίων μικροκρυσταλλικού πυριτίου από εκκενώσεις ECWR σιλανίου - υδρογόνου

Συγγραφείς:

Εργίνα Φαρσάρη, Πανεπιστήμιο Πατρών
Άγγελος Καλαμπούνιας, Πανεπιστήμιο Πατρών
Ελευθέριος Αμανατίδης, Πανεπιστήμιο Πατρών
Δημήτριος Ματαράς, Πανεπιστήμιο Πατρών

Θεματική Περιοχή:

Υλικά - Νανοτεχνολογία
Τύπος Παρουσίασης: 
Oral
Ημερομηνία Παρουσίασης: 
Friday, Jun 05 - 15:30
Διάρκεια: 
15 Minutes
Αίθουσα: 
Ι - 12